近日,从高新区传来喜讯:由宝鸡恒通电子有限公司承担的 HT系列硅压力传感器国家高技术产业化示范工程项目建成后,顺利通过了国家发改委组织的验收。据了解,该项目缩短了我国在MEMS 技术应用上与国际的差距,具备了 HT系列硅压力传感器规模化生产的条件,可实现替代进口的目标。
MEM S是英文缩写,即微电子机械系统。而微电子机械系统 M EM S技术则是建立在微米 /纳米技术基础上的 21世纪前沿技术,利用这一微电子技术和微加工技术相结合的制造工艺,可制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。 2008年 10月,国家发改委办公厅下发《关于 2008年电子专用设备仪器、新型电子元器件及材料产业化专项项目的复函》,批准把宝鸡恒通电子有限公司承担的“ H T系列硅压力传感器产业化项目”列入 2008年国家高技术产业化电子专用设备仪器新型电子元器件及材料产业化专项工程。这一概算总额为 7205万元的项目于 2007年在高新区科技创业园开工建设后,先后获得国家产业技术研发资金 800万元、地方配套 600万元的资金支持。
宝鸡恒通公司成立于1994年,是国内最早集研发、生产与销售为一体的硅压阻压力传感器高新技术企业。该公司在实施国家示范工程项目中,凭借新增的诸多先进的工艺设备、仪器,利用自主研发压力传感器的成熟技术,建立起国内先进的 MEMS 工艺硅压力传感器生产线,并于2010年 5月正式投产。到当年底,累计生产 HT系列硅压力传感器 200万只,工业用高精度压力传感器 40万只,销售收入累计达到 10076万元,取得了良好的经济效益。